鏡面火花機的工作原理是利用火花放電加工原理進行金屬加工。具體來說，當導電性微粉末（如石墨粉）進入放電間隙后，相當于在兩極間接入多段小導體，同時還使放電間隙中的電場發生畸變，使間隙中絕緣介質（如工作液）的抗擊穿能力下降，放電容易發生，放電間隙相應增大。

增大的放電間隙減小了電蝕產物對放電的引發作用，并且有利于電蝕產物的流動與排出，從而減少了放電集中的發生，使放電在加工表面均勻分布。放電間隙增大，放電通道變粗，在同樣放電脈沖能量下，工件表面受熱面積增大而受熱強度下降，從而在工件表層形成大而淺的放電蝕坑。同時放電間隙的增大還降低了放電對熔化金屬的拋出能力，使較多熔化金屬在工件表層重新凝固，進一步減小了放電蝕坑的深度。

因此，鏡面火花機在工件表面形成大而淺的放電蝕坑及放電蝕坑的均勻分布，是降低加工表面粗糙度的根本原因。